工業用マグネトロン

連続波マグネトロンは工業用加熱装置（誘電加熱）や半導体製造用のプラズマ・プロセッシングなどに利用されています。

特長

• 高効率、長寿命
• 低スプリアス、低雑音
• 小漏洩磁界
• 低陽極電圧
• 小型、軽量
• 高い周波数安定性を実現
  （特に同軸型マグネトロン）

製品ラインナップ

0.3~6.0kW 工業用マグネトロン

製品ラインナップ

出力 (kW)	外観写真	型名	周波数 (MHz)	冷却 方式	質量 (kg)	フィラメント 電圧 (V)	フィラメント 電流 (mA)	平均陽極電流(mA)	尖頭陽極電圧(kV)	寸法 L × W × H (mm)
0.3		E303	2,450 - 2,470	空冷	1.0	3.3	10.5	100	3.55	128×95×130.5
0.8		E5508A	2,450 - 2,470	空冷	0.9	3.3	10.5	300	4.00	128×95×129.5
		E5508W	2,450 - 2,470	水冷	1.2	3.3	10.5	300	4.00	128×96×129.5
1		E5510A	2,450 - 2,470	空冷	1.2	3.3	10.5	300	4.00	128×96×129.5
		E5510W	2,450 - 2,470	水冷	1.2	3.15	10.0	330	4.35	128×96×130.5
1.2		E5512A	2,450 - 2,470	空冷	1.0	3.15	10.0	370	4.55	128×95×130.5
		E5512W	2,450 - 2,470	水冷	1.2	3.15	10.0	370	4.55	128×96×130.5
1.3		E5513A	2,450 - 2,470	空冷	1.0	3.0	9.5	390	4.65	128×95×130.5
		E5513W	2,450 - 2,470	水冷	1.0	3.0	9.5	390	4.65	128×95×130.5
1.5		E5515A	2,450 - 2,470	空冷	1.0	2.9	9.5	450	4.65	128×95×130.5
		E5515W	2,450 - 2,470	水冷	1.2	2.9	9.5	450	4.65	128×96×130.5
6		E3327	2,450 - 2,470	水冷*	4.3	Ef=5.0V(予熱)、Ef=0V(動作(Ib=1150mAdc))	33.0	1,150	7.2	153×120×160
		E3327L	2,450 - 2,470	水冷*	3.1	Ef=5.0V(予熱)、Ef=0V(動作(Ib=1150mAdc))	33.0	1,150	7.2	150×120×160
12		E2712	2,450 - 2,470	水冷*	3.2	Ef=5.0V(予熱)、Ef=0V(動作Ib=2000mAdc)	33.0	2,000	7.5	150×120×176

[Notes]
*水冷/強制空冷方式