製品情報

工業用マグネトロン

製品ガイド

連続波マグネトロンは工業用加熱装置(誘電加熱)や半導体製造用のプラズマ・プロセッシングなどに利用されています。

特長

  • 高効率、長寿命
  • 低スプリアス、低雑音
  • 小漏洩磁界
  • 低陽極電圧
  • 小型、軽量
  • 高い周波数安定性を実現
    (特に同軸型マグネトロン)

[イメージ] 工業用マグネトロン

取り扱い上の注意事項

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製品ラインナップ

マグネトロンラインナップ表

外観写真 型名 周波数
(MHz)
出力
(kW)
冷却
方式
重量
(kg)
寸法
L × W × H
(mm)
2M164 2M164 2,420 - 2,480 1.6 空冷 2.5 145×132×170
E3327 E3327 2,450 - 2,470 6 水冷 4.3 153×120×160
E3328 E3328 2,450 - 2,470 3 水冷 2.5 145×135×170

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